|收藏本站|网站地图
欢迎光临山东飞源科技有限公司!

 
联系我们
全国咨询热线:0533-8170450


国内贸易客服座机:0533-8170450

国际贸易客服座机:0533-8170340

外贸传真:0533-8170340

内贸传真:0533-8170450

公司邮箱:info@sdfeiyuan.com

地址:山东省淄博市清河工业园



三氟化氮
名称/化学式:NF3
包装规格:10L//47L/440L
纯度(%):>99.99%
订购热线:0533-8170450
产品指标

山东飞源科技有限公司具备年产1000吨NF3的生产能力,生产工艺及设备均处于国内领先地位,且以生产5N规格的产品为主。


项目 Items

单位 Unit

企业标准 Company Standard

检测结果 Test Results

NF3

Vol.%

≥99.99

≥99.996

99.99

99.998

CF4

Vol. ppm

≤40.0

≤20.0

36.34

13.61

N2

Vol. ppm

≤10.0

≤5.0

1.49

1.30

O2+Ar

Vol. ppm

≤5.0

≤3.0

0.38

0.16

CO

Vol. ppm

≤1.0

≤1.0

0.02

0.01

CO2

Vol. ppm

≤3.0

≤0.5

0.16

0.15

N2O

Vol. ppm

≤3.0

≤1.0

0.64

0.01

SF6

Vol. ppm

≤3.0

≤2.0

0.72

0.02

H2O

Vol. ppm

≤1.0

≤1.0

0.57

0.46

Express as HF

Vol. ppm

≤1.0

≤1.0

0.62

0.12





产品特性
  三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟 离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗 剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
电子级三氟化氮气体是近年发展起来的一种新型电子化学品,主要用于电子元件的等离子蚀刻及清洗。三氟化氮用于硅和氮化硅蚀刻时,具有更高的蚀刻速率和选择性,且在被蚀刻物表面不残留任何物质。

储存及运输

NF3(三氟化氮)

47L Cylinder47L钢瓶

440L Y Cylinder440L Y瓶

Bundle(集装格)

ISO Tube(槽车)

Standard(型号)

DOT-3AA

DOT-3AA

47L*16/47L*25个

20ft/40ft

Valve type(阀门类型)

CGA 640

CGA 640 etc

 

 

Pressure(钢瓶压力)

2175PSI

16.6Mpa

 

 

Filling Weight充装量

20/22.7 KGS

195/200 KGS

 

 

  

  三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射,与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。

  三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸,防止钢瓶及附件破损。
  三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好,用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。
泄漏应急处理
  如遇有三氟化氮气体泄露,工作人员要马上撤离泄漏污染区,并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。如有工作人员中毒,应立即送往医院救治。
  泄露现场要尽快处理,处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具,最好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员,泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。
应用领域
    三氟化氮的三个主要用途,一是用作高能化学激光气的氟源,二是作为电子工业(IC)中的蚀刻剂、清洗剂,三是应用于太阳能光电产业。NF3其它用途:生产全氟铵盐,用作填充气体以增加灯泡的寿命和亮度,在采矿和火箭技术中用作氧化剂等。